書誌詳細書誌情報
| 書誌情報URL | https://www.library.pref.kyoto.jp/bib/?B10732704 |
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| タイトル | よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ リソグラフィ技術の核心に迫る 微細化の鍵 |
| 著者 | 佐藤 淳一／著 サトウ ジュンイチ |
| 出版者 | 東京 秀和システム |
| 出版年 | 2011.10 |
| 形態事項 | 271p 21cm |
| シリーズ名 | 図解入門 ズカイ ニュウモン How‐nual |
| Visual Guide Book ヴィジュアル ガイドブック | |
| ISBN | 978-4-7980-3063-0 |
| 価格 | (本体価格 \¥2000) |
| 分類：NDC10(9)(8) | (549.7) (549.7) |
| 一般件名 | リソグラフィー 半導体 |
| ＋詳細情報表示 |
所蔵 1冊
| 所蔵館 | 区分 | 排架場所 | 持禁区分 | 状態 | 資料バーコード | 請求記号 | 刊行年 | 備考 |
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| 府立図書館 | 一般 | 地下開架書架 | 貸出用 | 利用可 | 1108733682 | 549.7/Sa85/ | 2011 |
