書誌情報
書誌情報URL | https://www.library.pref.kyoto.jp/bib/?B10671763 |
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タイトル | 半導体CMP用語事典 ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン |
著者 | 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会/編 セイミツ コウガクカイ |
出版者 | 東京 オーム社 |
出版年 | 2008.10 |
形態事項 | 7,262p 19cm |
ISBN | 978-4-274-20612-2 |
価格 | (本体価格 \3800) |
分類:NDC10(9)(8) | (549.7) (549.7) |
一般件名 | 集積回路-辞典 |
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所蔵 1冊
所蔵館 | 区分 | 排架場所 | 持禁区分 | 状態 | 資料バーコード | 請求記号 | 刊行年 | 備考 |
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府立図書館 | 一般 | 地下開架書架 | 館内 | 貸出不可 | 1108569102 | 549.7/Se18/ | 2008 |